Исследование ионно-индуцированных токов в пленочных структурах с целью управления процессами ионно-плазменной обработки [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Симакин Сергей Борисович ; М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностр.
Вихідні дані: М., 1987Опис: 24 с. : ил., табл., граф., формулыМова: російська.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.3.049.77 + 533.9Наявність бібліографії/покажчика: Библиогр.: с. 22-23 (11 назв.).УДК-теми: 621.3.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми « 621.3.049.7 Механічна конструкція. Конструктивні матеріали та компоненти « 621.3.049 Конструювання електричного кола « 621.3.04 Деталі електричних машин, трансфрматорів, апаратів. Ізоляція. З'єднання. Обмотки « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя533.9 Фізика плазми « 533 Механiка газiв. Аеромеханiка. Фiзика плазми « 53 Фiзика « 5 Математика. Природничi науки Тип одиниці:
Автореферат
| Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Шифр зберігання | Стан | Очікується на дату | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Автореферат
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01346031 (Огляд полиці(Відкривається нижче)) | Доступно | 01346031 |
Библиогр.: с. 22-23 (11 назв.)