Исследование метода и разработка оборудования для термоионного осаждения тонких пленок [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.07 / Яхин Рафик Медхатович ; М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Москов. ин-т электрон. машиностр.
Вихідні дані: М., 1986Опис: 30 с. : ил., схемы, граф., формулыМова: російська.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.793Наявність бібліографії/покажчика: Библиогр.: с. 28-30 (17 назв.).УДК-теми: 621.793 Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опором. Металізація « 621.793/.795 Обробка поверхні « 621.79 З'єднання матеріалів. Обробка та остаточна обробка поверхні. Складування та зберігання. Пакування та пакувальні машини « 621.7 Технологiя механiчної обробки в цiлому: процеси, iнструменти, машини та обладнання « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Тип одиниці:
Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Шифр зберігання | Стан | Очікується на дату | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01346111 (Огляд полиці(Відкривається нижче)) | Доступно | 01346111 |
Библиогр.: с. 28-30 (17 назв.)