Разработка метода и исследование влияния сборочных операций на состояние поверхности диэлектрических пленок микросхем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.12.18 / Коваленко Александр Александрович ; М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностр.
Publication: М., 1983Description: 27 с. : ил., табл., схемы, формулыLanguage: російська.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.382.8Bibliography: Библиогр.: с. 25-27 (11 назв.).УДК-теми: 621.382.8 Молекулярна електроніка. Тверді схеми « 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type: АвторефератItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Автореферат | Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01345822 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01345822 |
Библиогр.: с. 25-27 (11 назв.)