Quality of MEMS production ensuring by minimisation of its not quality [Текст] / Tkachenko N., Fedorchuk Ye., Yurchak I.
Фізична одиниця: Perspective technologies and methods in MEMS design : proc. of IXth Intern. conf., 16-20 Apr. 2013, Polyana, Ukraine. — 2013.Опис: P. 38-39Мова: англійська.Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіНаявність бібліографії/покажчика: Bibliogr.: 3 titles. Тип одиниці:

Фонди: Складова частина документа P47
Bibliogr.: 3 titles.