Ионно-лучевое травление металлических пленок в промышленной технологии формирования функциональных элементов СБИС ЗУ ЦМД [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.274.01 / Кальнов Владимир Александрович ; МВ и ССО РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностроения
Вихідні дані: М., 1989Опис: 18 с.Мова: російська.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 004.08Наявність бібліографії/покажчика: Библиогр.: с. 16-18 (14 назв.).УДК-теми: 004.08 Носії [середовища] вводу, виводу і зберігання даних « 004 Комп'ютерна наука і технологія. Застосування комп'ютера « 00 Загальнi питання науки i культури « 0 Загальний вiддiл Тип одиниці:
Автореферат
| Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Шифр зберігання | Стан | Очікується на дату | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Автореферат
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01344937 (Огляд полиці(Відкривається нижче)) | Доступно | 01344937 |
Библиогр.: с. 16-18 (14 назв.)