Ионно-лучевое травление металлических пленок в промышленной технологии формирования функциональных элементов СБИС ЗУ ЦМД [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.274.01 / Кальнов Владимир Александрович ; МВ и ССО РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностроения
Publication: М., 1989Description: 18 с.Language: російська.УДК: 004.08Bibliography: Библиогр.: с. 16-18 (14 назв.).УДК-теми: 004.08 Носії [середовища] вводу, виводу і зберігання даних « 004 Комп'ютерна наука і технологія. Застосування комп'ютера « 00 Загальнi питання науки i культури « 0 Загальний вiддiл Item type:
Автореферат
| Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|
| Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01344937 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01344937 |
Библиогр.: с. 16-18 (14 назв.)
There are no comments on this title.