Разработка процессов формирования пленочных структур БИС в реакторах пониженного давления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Ионов Дмитрий Валентинович ; Моск. ин-т электрон. техники
Publication: М., 1986Description: 26 с. : рис., табл.Language: російська.УДК: 621.3.049.77Bibliography: Библиогр.: с. 25-26 ( 8 назв.).УДК-теми: 621.3.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми « 621.3.049.7 Механічна конструкція. Конструктивні матеріали та компоненти « 621.3.049 Конструювання електричного кола « 621.3.04 Деталі електричних машин, трансфрматорів, апаратів. Ізоляція. З'єднання. Обмотки « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type:
Автореферат
| Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|
| Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01344953 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01344953 |
Библиогр.: с. 25-26 ( 8 назв.)
There are no comments on this title.