Разработка процессов формирования пленочных структур БИС в реакторах пониженного давления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Ионов Дмитрий Валентинович ; Моск. ин-т электрон. техники
Вихідні дані: М., 1986Опис: 26 с. : рис., табл.Мова: російська.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.3.049.77Наявність бібліографії/покажчика: Библиогр.: с. 25-26 ( 8 назв.).УДК-теми: 621.3.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми « 621.3.049.7 Механічна конструкція. Конструктивні матеріали та компоненти « 621.3.049 Конструювання електричного кола « 621.3.04 Деталі електричних машин, трансфрматорів, апаратів. Ізоляція. З'єднання. Обмотки « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Тип одиниці:
Автореферат
| Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Шифр зберігання | Стан | Очікується на дату | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Автореферат
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01344953 (Огляд полиці(Відкривається нижче)) | Доступно | 01344953 |
Библиогр.: с. 25-26 ( 8 назв.)