Моделирование тепловых эффектов электронно-лучевого экспонирования фотошаблонов БИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Грачев Евгений Александрович ; Моск. ин-т электрон. машиностроения
Publication: М., 1984Description: 24 с. : ил., табл., граф.Language: російська.УДК: 621.3.049.77Bibliography: Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.).УДК-теми: 621.3.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми « 621.3.049.7 Механічна конструкція. Конструктивні матеріали та компоненти « 621.3.049 Конструювання електричного кола « 621.3.04 Деталі електричних машин, трансфрматорів, апаратів. Ізоляція. З'єднання. Обмотки « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type:
Автореферат
| Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|
| Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01344690 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01344690 |
Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.)
There are no comments on this title.