Електронний каталог Науково-технічної бібліотеки Національного університету „Львівська політехніка“

Моделирование тепловых эффектов электронно-лучевого экспонирования фотошаблонов БИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Грачев Евгений Александрович ; Моск. ин-т электрон. машиностроения

Автор: Грачев Евгений АлександровичВторинна відповідальність: Моск. ин-т электрон. машиностроенияPublication: М., 1984Description: 24 с. : ил., табл., граф.Language: російська.УДК: 621.3.049.77Bibliography: Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.).УДК-теми: 621.3.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми « 621.3.049.7 Механічна конструкція. Конструктивні матеріали та компоненти « 621.3.049 Конструювання електричного кола « 621.3.04 Деталі електричних машин, трансфрматорів, апаратів. Ізоляція. З'єднання. Обмотки « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type: Автореферат
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Current library Call number Status Date due Barcode
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ)
Фонд відділу книгозберігання
01344690 (Browse shelf(Opens below)) Available 01344690

Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.)

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share

Національний університет „Львівська політехніка“

Науково-технічна бібліотека

Koha Ukraine

Powered by Koha