Технологические процессы диффузии фосфора в кремний при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем с использованием твердых планарных источников [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Гасько Любомир Захарович ; Моск. ин-т электрон. техники
Publication: М., 1984Description: 20 с. : ил., табл.Language: російська.УДК: 621.315.592Bibliography: Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.).УДК-теми: 621.315.592 Електронні напівпровідники « 621.315.59 Провідники з дуже великим опором. Напівпровідники « 621.315.5 Провідники та напівпровідники залежно від матеріалу виготовлення « 621.315 Передача електричної енергії. Енергорозподілення та телекомунікаційні лінії. Провідники. Ізоляційні матеріали. Лінійна арматура. Конструкція, спорудження ліній електропередач « 621.31 Вироблення, постачання, розподіл та регулювання електричної енергії. Електричнi машини та прилади. Електричні вимірювання. Технічне застосування магнетизму. Технічне застосування електростатики « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type:
Автореферат
| Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|
| Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01344654 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01344654 |
Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.)
There are no comments on this title.