Microcircuit engineering' 88 [Текст] : proc. of the Intern. Conf. on microlithography, 20-22 Sept., 1988, Vienna, Austria / ed. by: F. Paschke [et al.]
Publication: Amsterdam [etc.] : NHPC, 1989Description: 653 p.Language: англійська.Country: Нідерланди.Форматний номер: 3 формат (висота > 23-31 см)ISBN: 0-444-87448-8.Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.382.8(06)Bibliography: ill.УДК-теми: 621.382.8 Молекулярна електроніка. Тверді схеми « 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type:
Збірник
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Збірник
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01312519/IF2-3 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01312519 |
ill.