Мікроелектромеханічні системи у сучасному приладобудуванні [Текст] / Гірняк Юрій
Фізична одиниця: Вимірювальна техніка та метрологія : міжвід. наук.-техн. зб. — 2008. — — Вип. 69.Description: С. 97-102Language: українська.Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 681.2Bibliography: Бібліогр.: 6 назв. Item type:

Holdings: Складова частина документа В473
Бібліогр.: 6 назв.