Мікроелектромеханічні системи у сучасному приладобудуванні [Текст] / Гірняк Юрій
Фізична одиниця: Вимірювальна техніка та метрологія : міжвід. наук.-техн. зб. — 2008. — — Вип. 69.Опис: С. 97-102Мова: українська.Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 681.2Наявність бібліографії/покажчика: Бібліогр.: 6 назв. Тип одиниці: Складова частина документа
Фонди: Складова частина документа В473
Бібліогр.: 6 назв.