Electronic catalog of the Scientific and Technical Library of the Lviv Polytechnic National University

Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] / [Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс и др. ; под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна ; пер. с англ. Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина, Е. С. Машковой]

Вторинна відповідальність: Толливер Д. ; Новицки Р. ; Хесс Д. ; под ред.  Айнспрука Н. ; под ред.  Брауна Д. ; пер. с англ. Золотарева Ю. М. ; пер. с англ. Юдина В. В. ; пер. с англ. Машковой Е. С.Publication: М. : Мир, 1987Description: 470 с. : ил.Language: російська.Country: СРСР.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.382.8Bibliography: Библиогр. в конце кн.УДК-теми: 621.382.8 Молекулярна електроніка. Тверді схеми « 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type: Книга
Holdings
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
 Книга Книга Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання 01266069 (Browse shelf(Opens below)) Available 01266069

Библиогр. в конце кн.

Share

Lviv Polytechnic National University

Scientific and technical library

Koha Ukraine

Powered by Koha