Прогнозування та модифікація лазерним випромінюванням властивостей шарів полікремнію в структурах "кремній-на-діелектрику" [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Панкевич Ігор Миронович ; Держ. ун-т "Львів. політехніка"
Publication: Л., 1996Description: 162 с.Language: українська.Форматний номер: 3 формат (висота > 23-31 см)Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.382.8Bibliography: Бібліогр.: с. 146-142 (140 назв).УДК-теми: 621.382.8 Молекулярна електроніка. Тверді схеми « 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type:
Дисертація
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Дисертація
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | DS01539 (Browse shelf(Opens below)) | Available | DS01539 |
Бібліогр.: с. 146-142 (140 назв)