Разработка моделей и методов газофазного осаждения в узлах сложной формы для технологических САПР РЭС [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / Матвийкив Олег Михайлович ; С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т
Вихідні дані: СПб., 1995Опис: 232 с. : ил.Мова: російська.Форматний номер: 3 формат (висота > 23-31 см)Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.382Наявність бібліографії/покажчика: Библиогр.: с. 222-232 (135 назв.).УДК-теми: 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Тип одиниці:
Дисертація
| Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Шифр зберігання | Стан | Очікується на дату | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Дисертація
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | DS01488 (Огляд полиці(Відкривається нижче)) | Доступно | DS01488 |
Библиогр.: с. 222-232 (135 назв.)