Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / Оксанич Анатолій Петрович ; Харк. нац. ун-т радіоелектроніки
Publication: Х., 2002Description: 34 с.Language: українська.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Вид літератури за цільовим призначенням: Наукові Item type:
Автореферат
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Автореферат
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01324227 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01324227 |