Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / Оксанич Анатолій Петрович ; Харк. нац. ун-т радіоелектроніки
Вихідні дані: Х., 2002Опис: 34 с.Мова: українська.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Вид літератури за цільовим призначенням: Наукові Тип одиниці:
Автореферат
| Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Шифр зберігання | Стан | Очікується на дату | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Автореферат
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01324227 (Огляд полиці(Відкривається нижче)) | Доступно | 01324227 |