Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы [Текст] : учеб. для сред. спец. учеб. заведений по специальности 0658 "Пр-во микроэлектрон. устройств" / Панфилов Юрий Васильевич, Рябов Владимир Тимофеевич, Цветков Юрий Борисович
Publication: М. : Радио и связь, 1988Description: 320 с. : ил.Language: російська.Country: СРСР.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)ISBN: 5-256-00062-4.Вид літератури за цільовим призначенням: НавчальніУДК: 621.382.8(075.3) + 62-529(075.3)Bibliography: Библиогр.: с. 318 (13 назв.).УДК-теми: 621.382.8 Молекулярна електроніка. Тверді схеми « 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя62-529 Автоматичне послідовне керування « 62-52 Машини та процеси з автоматичним керуванням « 62-5 Експлуатація та керування машинами та процесами « 62-1/-9 Характеристики та деталі машин, обладнання, устаткування, процесів та виробів « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type:
Книга
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Книга
|
Книгосховище № 5 (KSH5) Фонд відділу абонементів навчальної літератури | 621.382.8(075.3)/П167 (Browse shelf(Opens below)) | Available | NR0429202 |
Библиогр.: с. 318 (13 назв.)