Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС [Текст] / Багрий Игорь Петрович, Чечко Георгий Андреевич
Вихідні дані: Киев : ИК, 1989Опис: 20 с. : ил.Мова: російська.Країна: СРСР.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)Серія: Препринт / АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова, 89-46Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.382.8Наявність бібліографії/покажчика: Библиогр.: с. 20 (12 назв.).УДК-теми: 621.382.8 Молекулярна електроніка. Тверді схеми « 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Тип одиниці:
Книга
| Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Шифр зберігання | Стан | Очікується на дату | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Книга
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01292405 (Огляд полиці(Відкривається нижче)) | Доступно | 01292405 |
Библиогр.: с. 20 (12 назв.)