Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Текст] / Киреев Валерий Юрьевич, Данилин Борис Степанович, Кузнецов Владимир Иванович
Publication: М. : Радио и связь, 1983Description: 126 с. : ил.Language: російська.Country: СРСР.Серія: Массовая библиотека инженера " Электрон", вып. 36УДК: 621.382.8Bibliography: Библиогр.: с.121-125 (92 назв.).УДК-теми: 621.382.8 Молекулярна електроніка. Тверді схеми « 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type:
Книга
| Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|
| Книгосховище № 5 (KSH5) Фонд відділу абонементів навчальної літератури | 621.382.8/К43 (Browse shelf(Opens below)) | Available | NR0334420 | |
| Книгосховище № 5 (KSH5) Фонд відділу абонементів навчальної літератури | 621.382.8/К43 (Browse shelf(Opens below)) | Available | NR0334421 | |
| Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01214953 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01214953 | |
| Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01214952 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01214952 | |
| Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01214090 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01214090 |
Библиогр.: с.121-125 (92 назв.)
There are no comments on this title.