Физика субмикронной литографии [Текст] / Валиев Камиль Ахметович
Publication: М. : Наука, 1990Description: 528 с.Language: російська.Country: СРСР.Форматний номер: 2 формат (висота > 17-23 см)ISBN: 5-02-014381-2.Вид літератури за цільовим призначенням: НауковіУДК: 621.382.8УДК-теми: 621.382.8 Молекулярна електроніка. Тверді схеми « 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи « 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок « 621.3 Електрика. Електротехнiка « 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологiя. Електротехнiка. Машинобудування в цілому « 62 Машинобудування. Техніка в цілому « 6 Прикладнi науки. Медицина. Технологiя Item type:
Книга
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Книга
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01298672 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01298672 | ||
|
Книга
|
Книгосховище відділу книгозберігання (KSHVKZ) Фонд відділу книгозберігання | 01298194 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 01298194 |